上海
三星显示正在开发一款不使用精细金属掩膜版（FMM）的 7 英寸级有机发光二极管（OLED）样品，计划推进采用自研 “MPO（Micro Patterned OLED，微图案化 OLED）” 技术的工程样件（ES）制作。
据业界 10 月19 日消息，三星显示从今年 3 月起启动 MPO 产品项目。据悉，该项目并非针对特定客户，而是设定虚拟客户需求，按照准量产产品标准进行开发。项目原定首要目标节点为今年年底，但根据样品完成度，开发周期可能延长至明年一季度。
直到今年年初，MPO 开发项目实际上处于搁置状态。三星显示去年 9 月在忠清南道牙山 A2 产线引入应用材料旗下 AKT 的 5.5 代四分之一尺寸垂直蒸镀设备，对非 FMM 技术进行评估。但当时该技术与现有中小尺寸、中大型 OLED 的开发路线图不匹配，产品化方向也不够清晰。
项目得以正式启动的契机，是对维信诺搭载非 FMM 技术 ViP 的智能手表用 OLED 产品的分析。三星显示在今年 3 月取得该产品并展开评测。原本三星认为 ViP 技术的良率与器件特性会远不如传统 FMM 方案，但分析结果却超出预期。
一位业界相关人士表示：“维信诺初代产品，其器件特性已经达到和 FMM 相近水平，这一点被三星显示视为重要信号。
MPO 属于先进图案化技术，无需 FMM 即可制备红、绿、蓝（RGB）OLED 像素。该技术不依靠 FMM，而是借助微细隔离结构与光刻工艺实现 RGB 像素区分。维信诺 ViP、LGD 的 FliPP 同属这类隔离壁式非 FMM 技术。
三者差异体现在详细工艺与最终结构上。ViP 和 FliPP 是先在基板大面积蒸镀有机材料，再通过光刻、刻蚀去除多余部分。而 MPO 则是先制作微细隔离结构，再利用该结构在目标区域形成有机材料，后续不再对有机层额外刻蚀。隔离结构的处理方式也存在区别：ViP 与 FliPP 用于分隔有机材料的隔离壁会保留在最终产品内；而 MPO 开发思路是，仅在制造过程中使用该隔离结构，制程结束后将其移除。
业界认为，凭借这种工艺流程顺序与最终结构上的差异，三星有望规避维信诺 ViP、LGD FliPP 以及应用材料相关非 FMM 专利。
该工艺被评价在实现高分辨率 OLED 方面具备优势：便于设计更小的像素间距；随着像素缩小，有机层损伤与微细工艺管控压力也能够降低，同时还能减少材料消耗量与工序数量。ViP 和 FliPP 需要在后续要刻蚀去除的区域也蒸镀有机材料，而 MPO 产生的材料浪费更少。由于省去刻蚀工序，有望简化工艺、降低成本。
业内人士称：“MPO 这项技术的开发定位更适配高分辨率 OLED，而非中大尺寸面板。7 英寸样品试制完成后，就能验证在实际产品尺寸下，MPO 的各项技术优势能够实现到什么程度。”
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